Zielstellung
Vakuumkammer
Volumen: circa 33.5 l (400 mm Durchmesser)Bestrahlte Fläche: 100 mm DurchmesserDruck: circa 10-8 Pa (Erwartungswert, wird verifiziert)
Lichtquellen
Solarsimulator: 300 to 1200 nm (3200 W/m2, wird verifiziert)Deuterium VUV Quelle: 112 to 400 nm (Intensität wird verifiziert)Argon VUV Quelle: 5 to 200 nm (1.5 W/m2, wird verifiziert)
Protonen- und Elektronenquelle
Energie: 1 to 10 keV, 10 to 100 keVStrom: 1 to 100 nA, 0.1 to 100 µA
Thermalkonditionierung des Targets
Heizung: Halogenstrahler (500W, 400K)Kühlung: flüssiger Stickstoff (LN2: 80 K)
Messtechnik
In-situ Messsystem zur Bestimmung der Reflektivität und des AbsorptionsgradesQuadrupolmassenspektrometer Strahlungs-, Temperatur- und Drucksensorik