Das Messobjekt wird auf den Messtisch gelegt, der über eine Mechanik präzise in xy-Richtung verschoben werden kann. Die Koordinaten der aktuellen Position werden zudem elektronisch erfasst und auf einem Display dargestellt.
Neben der direkten visuellen Inspektion durch das Mikroskop liegt der wesentliche Vorteil gegenüber einem gewöhnlichen Mikroskop darin, dass der optische Kopf eine Kamera enthält, die das vorliegende Bild digitalisiert und zur weiteren Verarbeitung auf einen PC überträgt. Dort wird das Bild von einer vielseitigen Messsoftware weiterverarbeitet. Neben Längenmessungen können Konturerkennungen, Überblendungen mit CAD Daten und viele weitere Funktionen aufgerufen werden.
Die Abbildungen 1 und 2 zeigen das Mikroskop mit Auswertungs-PC, eine Antenne aus dem Projekt ATENAA und ein mit der Auswertesoftware eingelesenes Bild.