BERÜHRUNGSFREIES POSITIONIEREN UND PROZESSIEREN VON MATERIALIEN
Die zu untersuchende Probe wird elektrisch geladen und in einem vertikalen statischen elektrischen Feld zwischen zwei übereinander angeordneten Elektroden (Spannung: ca. 20 kV) zum Schweben gebracht. Zwei orthogonale horizontale Felder zwischen je zwei Seitenelektroden (Spannung: ca. ± 3 kV) verhindern ein seitliches Ausweichen der Probe. Die 3-dimensionale Positionskontrolle der Probe erfolgt über zwei aufgeweitete Laserstrahlen, die den Schatten der Probe auf zwei ebene positionsempfindliche Detektoren (PSD) wirft. Die UV-Strahlung einer Deuterium Bogenlampe ermöglicht über den Photoeffekt den Ladungserhalt der Probe. Zum Aufheizen des Probenmaterials werden zwei 25 W Diodenlaser (Wellenlänge: 810 nm) eingesetzt. Die Temperaturmessung erfolgt über ein Pyrometer.
Schematische Darstellung der Anlage
Literatur
T. Meister, H. Werner, G. Lohoefer, D.M. Herlach, H. Unbehauen Gain-scheduled control of an electrostatic levitator Engineering Practice 11 (2003) 117-128.