MIKROSTRUKTURANALYSE
Im Bereich Mikrostrukturanalyse steht mit dem Rasterelektronenmikroskop LEO 1530 VP mit INCA EDX-Analyse und HKL EBSD-System ein modernes Spitzengerät zur Verfügung. Mit einer Schottky-Feldemissionskathode wird eine hohe Strahlstabilität erreicht, die Bildauflösung bei 20 kV Beschleunigungsspannung wird vom Hersteller mit 1 nm angegeben. Es lassen sich Oberflächen elektrisch leitfähiger Materialien wie Metalle, aber auch elektrisch isolierender wie Keramiken und Aerogele abbilden. Das EBSD (Electron-back-scatter-detector)-System wird zur Analyse von Kornorientierungen in kristallinem Material eingesetzt.
Technische Daten
Beschleunigungsspannung: 100 V bis 30 kV Strahlstrom: 8 pA bis 3 nA Strahlemitter: thermische Feldemissionskathode Detektoren: