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Beschichtungsanlagen
EB-PVD Anlagen
Für Beschichtungen werden 2 EB-PVD-Anlagen (EB-PVD: electron beam physical vapour deposition) betrieben: eine 60kW-Eintiegelanlage (Leybold) und eine 150kW-Zweitiegelanlage (vonArdenne Anlagentechnik) mit Springstrahl-Elektronenkanone. Die verwendbaren Prozessparameter sind identisch mit denen von industriellen Produktionsanlagen.
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DC/RF-Labor-Sputteranlage
Die Magnetronsputteranlage LA 250S (vonArdenne Anlagentechnik) ermöglicht durch 2 separate Quellen die Herstellung metallischer oder keramischer Schichten in monolithischer, gradierter oder auch Mehrlagenanordnung im Bereich bis einigen µm Gesamtschichtdicke.
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MEGA-Sputteranlage
Die Beschichtungsanlage MEGA (Multiquellen Magnetron Sputter-anlage) ermöglicht durch 7 verschiedene Beschichtungs-Quellen die Herstellung neuartiger metallischer oder keramischer Schichten in monolithischer, gradierter oder auch Mehrlagenanordnung im Bereich bis einigen µm Gesamtschichtdicke.
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