Konfokales Laser Scanning Mikroskop (LSM)
Mit dem Laser Scanning Mikroskop (LSM, Laserrastermikroskop) können metallische, keramische sowie Polymere, transparente und opake Materialien mikroskopisch in Bezug auf ihre Oberflächen-Beschaffenheit charakterisiert werden. Die Methode arbeitet ohne Kontakt und ist zerstörungsfrei.
Das konfokale Prinzip ermöglicht es, Schnitte mit definiertem Fokus senkrecht zur Probennormalen (z-Achse) aufzunehmen (z-Stapel). Hieraus wird dann ein dreidimensionales Modell der Probenoberfläche erstellt. Die Technik liefert Informationen zur Oberflächentopographie und erlaubt die Bestimmung von Welligkeit/Rauheit, die Profilometrie und Schichtdickenmessung.
Die Verwendung von Laserlicht im violetten Spektralbereich in Kombination mit Objektiven hoher numerischer Apertur ermöglicht die optische Auflösung lateraler Details bis zu ca. 120nm (Linienstruktur/-breite). Der Messbereich senkrecht zur Probenoberfläche (z-Achse) beträgt, in Abhängigkeit von der Auflösung und Gesichtsfeld, 14,5mm bis 230µm. Parallel zur z-Achse kann eine Auflösung bis 20nm erreicht werden. Geneigte Flächen, bis max. 72°, sind bei der höchsten Auflösung vermessbar. Das automatische Abfahren des x/y Scanningtisches ermöglicht eine sequentielle Untersuchung von Bereichen der Probenoberfläche, welche größer als das optische Gesichtsfeld sind.
Das Gerät basiert auf einem konventionellen Auflichtmikroskop.
AUSSTATTUNG:
- Modell: LSM 70 ·
- Laser: violett (λ = 405 nm)
- Objektive: 5x/NA0,13; 10x/NA0,3; 20x/NA1,7; 50x/NA0,95 und 100x/NA0,95
- X-/Y-Scanningtisch: 130 x 85 mm Fahrbereich; Joystick-Steuerung