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Das konfokale Laser Scanning Mikroskop (LSM)



2D-Darstellung einer laserbehandelten Ti-Al-V-Probe

Mit dem Laser Scanning Mikroskop (LSM, Laserrastermikroskop) können metallische, keramische sowie Polymere, transparente und opake Materialien mikroskopisch in Bezug auf ihre Oberflächen-Beschaffenheit charakterisiert werden. Die Methode arbeitet ohne Kontakt und ist zerstörungsfrei.

Das konfokale Prinzip ermöglicht es, Schnitte mit definiertem Fokus senkrecht zur  Probennormalen (z-Achse) aufzunehmen (z-Stapel). Hieraus wird  dann ein dreidimensionales Modell der Probenoberfläche erstellt. Die Technik liefert Informationen zur Oberflächentopographie und erlaubt die Bestimmung von Welligkeit/Rauheit, die Profilometrie und Schichtdickenmessung.

Die Verwendung von Laserlicht im violetten Spektralbereich in Kombination mit Objektiven hoher numerischer Apertur ermöglicht die optische Auflösung lateraler Details bis zu ca. 120nm (Linienstruktur/-breite). Der Messbereich senkrecht zur Probenoberfläche (z-Achse) beträgt, in Abhängigkeit von der Auflösung und Gesichtsfeld, 14,5mm bis 230µm. Parallel zur z-Achse kann eine Auflösung bis 20nm erreicht werden. Geneigte Flächen, bis max. 72°, sind bei der höchsten Auflösung vermessbar. Das automatische Abfahren des x/y Scanningtisches ermöglicht eine sequentielle Untersuchung von Bereichen der Probenoberfläche, welche größer als das optische Gesichtsfeld sind.

Das Gerät basiert auf einem konventionellen Auflichtmikroskop.

AUSSTATTUNG:

  •           Modell:                      LSM 70
  •           Laser:                       violett (λ = 405 nm)
  •           Objektive:                 5x/NA0,13; 10x/NA0,3; 20x/NA1,7; 50x/NA0,95 und 100x/NA0,95
  •           X-/Y-Scanningtisch:   130 x 85 mm Fahrbereich; Joystick-Steuerung

Kontakt
Rebekka Probst
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt (DLR)

Institut für Werkstoff-Forschung
, Aerogele
Köln

Tel.: +49 2203 601-3429

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