Abteilung Integration von Mikro- und Nanosystemen
In der Abteilung Integration von Mikro- und Nanosystemen entwickeln wir miniaturisierte Quantensysteme, die für eine Anwendung im Weltall geeignet sind. Unser interdisziplinärer Ansatz ist es mit Hilfe von mikro- und nanotechnologischer Prozesstechnologie, kompakte, robuste und skalierbare Quantensysteme aufzubauen. In der Zusammenarbeit mit den anderen Abteilungen am Institut entwickeln wir hoch integrierte, miniaturisierte Komponenten für verschiedenste Quantensysteme. Dazu entwickeln wir Kerntechnologien wie chip-basierte Ultra-Hoch-Vakuum-Gehäuse, Wellenleiterstrukturen und Atomquellen. Darüber hinaus unterstützen wir die Entwicklung von Quantencomputern durch spezifische Prozessinnovationen für die Verbesserung von Quantencomputern basierend auf Stickstoff-Fehlstellen (NV-Zentren) in Diamant und Technologien für die skalierbare Integration von Ionenfallen-basierten Quantencomputern.
Ein Großteil der Arbeit erfolgt im Halbleitertechnologie Reinraum. Wir betreiben eine umfassende Mikrotechnologie-Prozesskette von der Strukturierung, über Plasmaanlagen bis hin zur Verbindungs- und Aufbautechnik und legen insbesondere hohen Wert auf exzellent dokumentierte, reproduzierbare Verfahren, die eine Skalierung der Produktion der Systeme ermöglichen.