Cleanroom PR-13
Cleanroom PR-13
Im Lithographielabor werden die Nano- und Mikrostrukturen definiert. Gelblicht Beleuchtung verhindert eine versehentliche Belichtung der UV-sensitiven Lackschichten, die in diesem Bereich mit Hilfe der Belacker, UV-Maskenjustageblichter und Entwickler bearbeitet werden.
