KOH-14
KOH-14
Die Chemietische sind mit integrierter Absaugung in der Arbeitsplatte ausgestattet um laminare Luftströmung zu garantieren und damit die Partikelbelastung auf ein Minimum zu reduzieren. In diesen Bereichen werden Nasschemische Ätzprozesse auf Waferlevel beispielsweise mit KOH zur anisotropen Strukturierung von Glas und Silizium druchgeführt.
